羅茨往復(fù)泵真空機(jī)組是運(yùn)用轉(zhuǎn)子和可在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動的旋片的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動以獲得真空的一種變?nèi)輽C(jī)械真空泵。中選用作業(yè)液來停止?jié)櫥⑻畛浔们凰老叮指襞艢忾y和大氣時(shí),無作業(yè)液時(shí),即為通常所稱的無作業(yè)液時(shí),。
在油無作業(yè)液時(shí),上稱皮帶傳動的、,而把泵與電機(jī)間接銜接或用聯(lián)軸器銜接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的構(gòu)造方式和參數(shù)不同,泵的極限壓力和用途也不同。
無作業(yè)液時(shí),的種類繁多,在選型時(shí)特別要注意:
1、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境的影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
2、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的真空泵或真空機(jī)組。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,首先選擇耐腐蝕允許部分顆粒或蒸汽的真空泵,還可以考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
3、所選無作業(yè)液時(shí),在其正常工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中所產(chǎn)生的全部氣體量,無作業(yè)液時(shí),否則影響真空度。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種真空泵不能滿足抽氣要求,需要幾種真泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。