隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求,由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍,只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。
滑閥真空泵的結構主要由泵體及在其內部作偏心轉動的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成。滑閥式真空泵是靠氣閥(滑閥)前后滑動,和兩個排氣閥片交替做工,打開、關閉氣道,進行吸氣排氣,從而得到真空。
滑閥真空泵中裝有滑閥環,滑閥環內裝有偏心輪,偏心輪固定在軸上,軸與泵體中心線相重合。在滑閥環上裝有長方形的滑閥桿,它能在半圓形滑閥導軌中上下滑動及左右擺動,因此泵腔被滑閥環和滑閥桿分隔成A、B兩室。泵在運轉過程中,由于A、B兩室容積周期性地改變,使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔;同時,在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮,并通過排氣閥排出滑閥真空泵。